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作为低原子序数材料，对离子、等离子具有较强的抗轰击能力，纯度高没有金属离子不会对半导体产生污染。 用于等离子cvd用部件 等离子cvd用感受器、电极室、喷嘴、内衬、溅射用电极、mocvd感受器等
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