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石墨舟wafer污染可分哪几种

　石墨舟污染分析及分类：

　　1.正常情况下，硅烷氨气，在高温，高频光辉放电的作用下会生成一层较清洁干净，不可擦掉的氮化硅生成物，附着在炉壁上。随着镀膜次数的增加，炉壁的SIN层越厚。

　　2.在真空及气流的作用下会产生流沙一样的土黄色的SIN小颗粒。沉积到特气孔法兰内，或分布于炉管的底部，及炉壁上。

　　3.由于氮气不清洁（没有安装氮气过滤器），在氮气管壁有白色颗粒，在充氮气回压时随氮气到炉管，附着到wafer或许石墨舟上，形成小白点。

　　4.在工艺制程结束后特气管道吹扫不干净（流量计异常），有浓度较低的硅烷。在出石墨舟过程中随氮气冲出，在特气孔周围遇氧燃烧产生白色或许淡黄色的氧化硅雾状附着物。

　　5.最严重的是硅烷羊角阀，或用流量计有漏，在冲N2时由于控制不好，会有浓度相对较高的SIH4漏出,在特气孔处遇氧产生明火。燃烧产生的土灰色雪花状漂浮物，会污染整个炉管，和石墨舟及舟内wafer上。

　　根据以上分析炉管粉尘污染大致分为如下几类：

　　1.石墨舟舟片上淡黄色微颗粒；

　　2.石墨舟舟片上可去掉，或不可去掉小白点；

　　3.石墨舟舟片上黄色或者白色雾状附着物（称为气流异常）；

　　4.石墨舟舟片上雪花状漂浮物；

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