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太阳能电池片PEVCD石墨舟镀膜车间常见事项

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       膜厚。沉积时间的不同膜厚也是不一样的要根据PEVCD石墨舟镀膜的颜色来适当的增加或减少它的沉积时间，片子发白要减少沉积时间，如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的确认，不允许把不良品流入到下道工序，如色斑、水印镀膜不良，应及时挑出产线最常见的表面发白、色差、白点，其中表面发白主要由于氮化硅膜较厚导致，可通过调节膜沉积时间来调整；色差片主要由于气路堵塞、石英管漏气、微波故障等导致；白斑主要由于前道小黑点导致。反射率、折射率等的监测、特殊气体的安全等。

      表面发白色差片白斑

      PECVD石墨舟镀膜是太阳能电池片中比较重要的工序，也是体现一个企业太阳能电池片效率的一个重要指标，PECVD工序一般较忙，每一批电池片都需要监测，且镀膜炉管较多，每一管一般几百片（视设备而定），更改工艺参数后，验证周期较长。PEVCD石墨舟镀膜技术是整个光伏行业比较重视的技术，太阳能电池的效率提升可以通过PEVCD石墨舟镀膜技术的提升来实现，太阳能电池领域的科学家们也乐此不疲，未来太阳能电池表面技术或许有可能成为太阳能电池理论效率的突破口

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