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高效PERC单晶硅太阳电池局部背表面场的工艺

目前，钝化发射极和背面电池(PassivatedEmitter and Rear Cell，PERC) 技术已成为光伏行业中提升晶硅太阳电池转换效率的主流高效技术。PERC 技术是通过在硅片的背面增加一层钝化层( 氧化铝或氧化硅)，对硅片起到钝化的作用，可有效提升少子寿命。为了防止钝化层被破坏，影响钝化效果，还会在钝化层外面再镀一层氮化硅层。PERC 技术中引入的背面钝化可将电池背表面载流子的复合速率降至 50 cm/s 以下，表面悬挂键降至1011 eV•cm2 以下，因而可改善电池背面复合，提升电池的少子寿命。此外，PERC 单晶硅太阳电池的背面叠层钝化膜起到了背反射器的作用，可将更多的长波长的光反射回电池，从而提升电池的长波响应。但是由于PERC 单晶硅太阳电池的背钝化层为绝缘层，无法与铝背场形成电极通路，因而，需要通过激光在硅片背面开槽，形成PERC 单晶硅太阳电池的局部背表面场.

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