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污染类型 | 易污染对象 | 污染原因 | 备注 |
膜后不可去小白点 | 镀膜前wafer | 少量微颗粒膜前附着到wafer上。镀膜时SIN层没能渡到wafer表面,造成小白点。 | 产生不良片 |
氮气不清洁(没装氮气过滤器),吹出白色微小颗粒。 | 产生不良片 | ||
膜后可去掉小白点 | 膜后wafer | 氮气不清洁,吹出白色颗粒(可吹掉),膜后附着到wafer上。 | 可吹掉,产生一定量不良片 |
膜后微颗粒附着到wafer上(可吹掉), | 可吹掉,产生量少不良片 | ||
白色,灰白色雾状附着物 | 气流片(wafer) | 特气管道残遇硅烷(浓度很低),随氮气冲出。在石墨舟出来的过程中造成明显的气流痕迹。 | 污染石墨舟(一般为白色,或者灰白色),产生大量不良片。 |
土灰色雪花状漂浮物 | 石墨舟,wafer | 硅烷羊角阀,流量计有漏(浓度较低),直接在炉门口燃烧,产生白色,灰色粉尘。 | 污染石墨舟,炉管,产生大量不良片。 |
污染类型 | 解决措施 | 预防措施 |
膜后不可去小白点 | 清理特气孔,吹扫特气管道 | 制作吹扫工艺,定期进行吹扫工艺;洁净,炉管及进出舟环境。 |
吹扫氮气管道,跟换,安装氮气滤芯。 | 购买氮气滤芯,定期更换氮气滤芯 | |
膜后可去掉小白点 | 吹扫氮气管道,清理,跟换,安装氮气滤芯。 | 购买氮气滤芯,定期更换氮气滤芯 |
清理特气孔,吹扫特气管道。 | 协助工艺去部掉出炉管15slm N2。洁净,进出舟环境。 | |
白色,黄色 | 发现有异常,及时停止制程,立即测试硅烷羊角阀,流量计,发现有漏。及时跟换羊角阀流量计。 | 发现类似情况及时停止工艺制程。更换相应备件。 |
雪花状漂浮物 | 发现有异常,及时停止制程,立即排查,流量计,羊角阀。如果 | 发现类似情况及时停止工艺制程。更换相应备件。 |
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